활성종 | 저온 대기압 플라즈마 | 활성종 | 저온 대기압 플라즈마 |
---|---|---|---|
O₃ |
≤ 0.05 ppm (기체) |
H₂O₂ |
≤ 1 ppm (기체) ≤ 5% (액체) |
NOx |
NO ≤ 20 ppm (기체) NO₂ ≤ 1 ppm (기체) |
OH |
인체무해 |
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