활성종 | 저온 대기압 플라즈마 | 활성종 | 저온 대기압 플라즈마 |
---|---|---|---|
O₃ ![]() |
≤ 0.05 ppm (기체) |
H₂O₂ ![]() |
≤ 1 ppm (기체) ≤ 5% (액체) |
NOx ![]() |
NO ≤ 20 ppm (기체) NO₂ ≤ 1 ppm (기체) |
OH ![]() |
인체무해 |
TOP